日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統(tǒng)

日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統(tǒng)

日本 FLOVEL TOMOS-80XY 是專為大尺寸半導(dǎo)體、精密零件打造的電動 XY 平臺雙面顯微鏡系統(tǒng)。產(chǎn)品搭載正立 + 倒立雙 320 萬像素相機(jī)，配備 200mm×200mm 大行程電動 XY 平臺與自動對焦功能，可預(yù)先指定測量點位，自動完成 8 英寸及以上晶圓、MEMS、電子元件等工件的雙面圖案、對齊標(biāo)記偏移與尺寸測量，替代人工操作，實現(xiàn)無人化批量檢測。

系統(tǒng)內(nèi)置智能測量算法，可自動識別各類對齊標(biāo)記的邊緣，精準(zhǔn)計算中心坐標(biāo)與位置偏差；支持多重精度補(bǔ)償，消除工件安裝與平臺移動誤差，保障測量結(jié)果的可靠性。Z 軸 ±10mm 行程，適配不同高度工件，自動對焦功能確保成像清晰；雙白色 LED 照明支持落射、透射、混合模式，滿足不同材質(zhì)工件的成像需求。

設(shè)備支持雙面圖像疊加顯示、測量結(jié)果自動輸出、地圖制作、配方登記等功能，可選配無需翻轉(zhuǎn)工件的線寬測量功能，大幅提升檢測效率；同時提供軟件、樣品夾持器定制服務(wù)，可根據(jù)工件形狀、材料定制專屬檢測方案，適配特殊工件的自動化檢測。