半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)
產(chǎn)品型號: FM31系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)結(jié)構(gòu)簡單:流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器,結(jié)構(gòu)簡單,壓力損失小,不易漏液。檢測器不與液體相接:因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控,機(jī)身材質(zhì)采用PFA,無粒子。
半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)
結(jié)構(gòu)簡單:流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器,結(jié)構(gòu)簡單,壓力損失小,不易漏液。
檢測器不與液體相接:因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控,機(jī)身材質(zhì)采用PFA,無粒子。
適用于全球規(guī)格:獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì):無O環(huán),適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
可靠性、耐用性良好:沒有可移動(dòng)部分,不會(huì)因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
內(nèi)置溫度傳感器:在有液體通過時(shí),實(shí)現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性,通過溫度補(bǔ)償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
防水性相當(dāng)于IP 65等級:電源為12-24VDC單電源驅(qū)動(dòng)。
這些特點(diǎn)使得FM31系列流量計(jì)非常適合在半導(dǎo)體制造、化工、制藥等對液體流量控制要求高的領(lǐng)域中應(yīng)用。
結(jié)構(gòu)簡單:流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器,結(jié)構(gòu)簡單,壓力損失小,不易漏液。
檢測器不與液體相接:因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控,機(jī)身材質(zhì)采用PFA,無粒子
。
適用于全球規(guī)格:獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì):無O環(huán),適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控
。
可靠性、耐用性良好:沒有可移動(dòng)部分,不會(huì)因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
內(nèi)置溫度傳感器:在有液體通過時(shí),實(shí)現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性,通過溫度補(bǔ)償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差
。
防水性相當(dāng)于IP 65等級:電源為12-24VDC單電源驅(qū)動(dòng)
。
這些特點(diǎn)使得FM31系列流量計(jì)非常適合在半導(dǎo)體制造、化工、制藥等對液體流量控制要求高的領(lǐng)域中應(yīng)用。