精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品名稱(chēng): 精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào): SEC-E 系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器高精度控制:控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn),確保流量控制的準(zhǔn)確性。快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒,適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制。
精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹
精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器
精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器
高精度控制:控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn),確保流量控制的準(zhǔn)確性。
快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒,適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制。
多通信協(xié)議支持:支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議,確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
多氣體/多量程功能:用戶(hù)可通過(guò)軟件更改氣體類(lèi)型和滿(mǎn)量程設(shè)置,無(wú)需更換設(shè)備,提升靈活性。
高可靠性設(shè)計(jì):采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì),適用于腐蝕性氣體,高潔凈工藝兼容。
支持多種通信模式:即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
高精度和高速響應(yīng):提供高精度(+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn))和高速響應(yīng)。
多氣體/多量程功能:可降低制程成本。
SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用,可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。
高精度控制:控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn),確保流量控制的準(zhǔn)確性。
快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒,適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制
。
多通信協(xié)議支持:支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議,確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
多氣體/多量程功能:用戶(hù)可通過(guò)軟件更改氣體類(lèi)型和滿(mǎn)量程設(shè)置,無(wú)需更換設(shè)備,提升靈活性。
高可靠性設(shè)計(jì):采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì),適用于腐蝕性氣體,高潔凈工藝兼容
。
支持多種通信模式:即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
。
高精度和高速響應(yīng):提供高精度(+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn))和高速響應(yīng)
。
SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用,可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM
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