日本 NPS 四探針探針是半導體電阻率測量的核心部件，PE3-TEP2 作為經典型號，以高精度、高耐久性的設計，被全球各大測量儀器制造商作為標準探針采用，是硅晶圓、ITO 薄膜等材料電阻率與薄層電阻測量的關鍵組件。

核心技術與性能特點

• 高精度與穩定性設計：采用 NPS 有的 “微邊緣接觸加工處理" 技術，配合高耐久性一體式低電阻金屬連接結構，確保探針與樣品接觸穩定，導電性能優異，為四探針法測量提供可靠的機械與電氣基礎。

• 高耐久性與可維護性：接觸過程中探針變化極小，減少磨損；支持短期維修再生服務，可更換針頭、導針等消耗部件，有效控制運行成本。

• 適配多場景測量需求：提供多樣化針尖規格，可適配硅晶圓、導電薄膜、塊狀半導體等多種試樣；方形探針等特殊排列型號，也可滿足不同測量標準的需求。

• 廣泛兼容性：支持 Nautilus、KLA、共和理研等多品牌測量儀器，可通過對應連接器直接使用；同時提供 K-89PS 系列專用安裝夾具，適配主流四探針測量架。

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典型應用場景

• 硅晶圓、硅芯片的電阻率與薄層電阻測量

• ITO 薄膜、導電涂層的方阻檢測與膜厚評估

• 半導體材料、電子元件的來料檢驗與工藝驗證

• 科研實驗室中材料的體積電阻率、表面電阻率（Ω、Ω-cm、Ω/sq）測試