日本 NPS PN-01 是一款專為硅半導體材料設計的 P/N 類型判定儀，可通過整流法或熱電動勢法快速、無損傷地判斷硅晶圓、硅錠及塊狀硅材料的導電類型（P 型或 N 型），也支持 P on N、N on P 等多層結構樣品的判定，是半導體制造、來料檢驗與工藝研發的基礎檢測工具。

核心技術與功能特點

• 整流性方式（Pin 探針）：專為硅晶圓設計，將晶圓放置在探針臺上輕壓接觸即可判定，不會損傷樣品表面，適用于切割、拋光、研磨后的晶圓。

• 熱起電力方式（Hot 探針）：專為硅錠、塊狀硅材料設計，只需將熱探針輕壓在樣品表面即可完成判定，操作便捷。

設備支持 0.001Ω?cm 至 1500Ω?cm 的電阻率范圍，可覆蓋絕大多數硅半導體材料的檢測需求。機身配備 LED 指示燈與指針式儀表，可直觀顯示判定結果；前面板的調零與靈敏度旋鈕，可根據樣品特性進行校準，確保判定結果準確可靠。

產品規格與配置

• 型號：PN-01（P/N CHECKER MODEL-01）

• 電源：100VAC 50/60Hz

• 本體尺寸：225W×150D×80H（mm）

• 重量：約 2kg

• 標配：主機、晶圓用探針（PN-01-WP）、錠用熱探針（PN-01-GP）

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典型應用場景

• 硅晶圓、硅錠的來料檢驗與導電類型判定

• 半導體制造過程中的工藝驗證

• 多層結構（P on N、N on P）樣品的類型判斷

• 高校實驗室、科研機構的半導體材料基礎研究