神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵

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產品名稱: 神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵

產品型號: SSH100/SSH150/SSH200

產品特點: 神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵，采用直流無刷電機驅動，支持雙模式運行，無油干式設計，適配半導體制造、一般產業及研發場景，兼具高抽速、低能耗與環保特性。

神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵 的詳細介紹

神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵

神港精機 SSH 系列干式螺桿真空泵，是專為工業級真空應用打造的高性能無油干式螺桿泵，采用直流無刷電機驅動，支持雙模式運行，無頻率限制，廣泛應用于半導體制造、電子部件生產、一般工業及科研開發等場景，為各類工藝提供穩定、潔凈的真空環境。

設備的核心優勢在于高效節能與靈活運行，采用直流無刷電機，通過轉速控制降低啟動電流，運行中可切換 “POWER MODE" 與 “ECONOMY MODE" 兩種模式，適配不同工況需求；同時解決了 50/60Hz 地區的能力差異，實現無頻率限制運行。相比傳統感應電機，設備在年運行 9000 小時的工況下，可實現約 64000 日元的節電效果，同時減少約 1400kg 的 CO?排放，兼具經濟性與環保性。

設備性能表現優異，提供 SSH100、SSH150、SSH200 三種型號，抽氣速度覆蓋 1030~3000L/min（POWER MODE 下最高可達 3000L/min），到達壓力低至 0.6Pa，可滿足不同工藝對真空度的需求；設備采用無油干式設計，不會對工藝過程造成油污染，適配半導體蒸鍍、濺射、蝕刻等對潔凈度要求高的工藝場景，也可用于氣體置換、滅菌、蒸發器等一般工業與研發場景。

設備內置泵控制器，配備多種保護功能，支持外部控制，可實現自動化運行；整機結構緊湊，帶腳輪與支撐腳，移動與固定便捷，適配車間與實驗室使用；可選配冷卻水與 N?氣接口，滿足不同工藝的冷卻與密封需求。設備采用可靠的螺桿結構設計，運行穩定可靠，是半導體制造、工業生產與科研開發中真空工藝的理想配套設備，助力企業實現高效、潔凈、節能的真空作業。

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