S 系列為標(biāo)準(zhǔn)型號，覆蓋薄膜、厚膜、極厚膜全場景測量需求：薄膜型號測量范圍 50nm~20μm，厚膜型號 1μm~100μm，極厚膜型號 20μm~800μm，適配不同制程階段的膜厚檢測。設(shè)備支持 4-12 英寸晶圓及 A4 尺寸樣品檢測，薄膜型號單晶圓可采集約 400 萬個測量點，極厚膜型號也可采集 100 萬個測量點，所有型號均可在 2 分鐘以內(nèi)完成高速測量與膜厚計算，大幅提升生產(chǎn)效率。

設(shè)備空間分辨率覆蓋 50μm~300μm，重復(fù)再現(xiàn)性 3σ＜1.0nm（薄膜 / 厚膜型號）或 3σ＜10nm（極厚膜型號），確保測量數(shù)據(jù)的高精度與穩(wěn)定性?？捎糜?SiO?膜、濺射膜、抗蝕劑、液膜、油膜、涂層膜等多種薄膜類型的檢測，也適用于 PET 薄膜、玻璃等基材上的膜厚測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、薄膜沉積工藝等領(lǐng)域，是研發(fā)開發(fā)到缺陷檢查的全流程質(zhì)量管控核心設(shè)備。