小型高穩(wěn)定性半導(dǎo)體膜厚測(cè)定光源氙燈

產(chǎn)品名稱: 小型高穩(wěn)定性半導(dǎo)體膜厚測(cè)定光源氙燈

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品特點(diǎn): 小型高穩(wěn)定性半導(dǎo)體膜厚測(cè)定光源氙燈
日本 Milas（ミラス株式會(huì)社）供應(yīng)的 A3611S 是一款專為半導(dǎo)體膜厚測(cè)定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry）設(shè)計(jì)的高穩(wěn)定性氙燈紫外點(diǎn)光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區(qū)保持高輻射強(qiáng)度，用于 nm 級(jí)超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄

小型高穩(wěn)定性半導(dǎo)體膜厚測(cè)定光源氙燈 的詳細(xì)介紹

小型高穩(wěn)定性半導(dǎo)體膜厚測(cè)定光源氙燈

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù) / 說(shuō)明
型號(hào)	A3611S（Milas Xenon Lamp House）
用途	半導(dǎo)體膜厚計(jì)、橢偏儀、反射率計(jì)的紫外-可見(jiàn)光源
輸出波段	190–800 nm（185 nm 以下深紫外可選 MgF? 窗口）
燈類型	短弧氙燈 75 W（可選 150 W 高功率版 A3612S）
弧長(zhǎng)	≈ 0.5 mm，點(diǎn)光源設(shè)計(jì)，易耦合光纖 / 透鏡
窗口	高純度合成石英（可選 MgF? 真空紫外窗）
光穩(wěn) 定性	< 0.3 % CV（10 min 預(yù)熱后，@ 250 nm）
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷（內(nèi)置溫控風(fēng)扇，無(wú)外部水冷）
壽命	典型 2 000 h（> 70 % 初始強(qiáng)度）
電源	專配 LPS-75X 恒功率電源，AC 100–240 V，50/60 Hz
外形	105 × 105 × 135 mm（燈室），可直接 30 mm 光學(xué)桿安裝
重量	≈ 1.8 kg（燈室）

?? 光譜特性

200 nm 處輻射強(qiáng)度 > 40 mW mm?2 sr?1（75 W 檔）
250–350 nm 波段無(wú)顯著汞線，連續(xù)譜適合薄膜干涉擬合
可見(jiàn)區(qū) 450–700 nm 亦保持平滑連續(xù)譜，支持多波長(zhǎng)橢偏算法

?? 配套接口

表格

復(fù)制

接口類型	說(shuō)明
SMA905	標(biāo)配 600 µm 石英光纖跳線，NA = 0.22，長(zhǎng)度 1 m（可 2/3 m）
FC/PC	可選，適合與 Ocean Insight、Horiba、J.A. Woollam 光譜儀直連
自由空間	30 mm 籠式系統(tǒng)兼容，可加裝 Φ 25 mm 透鏡組

?? 標(biāo)準(zhǔn)配置清單

A3611S 燈室（含 75 W 氙燈，石英窗）
LPS-75X 恒功率電源（帶 RS-232C 遙控）
燈-電源互聯(lián)電纜 2 m
SMA905 石英光纖 1 m

日本 Milas（ミラス株式會(huì)社）供應(yīng)的 A3611S 是一款專為半導(dǎo)體膜厚測(cè)定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry）設(shè)計(jì)的高穩(wěn)定性氙燈紫外點(diǎn)光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區(qū)保持高輻射強(qiáng)度，用于 nm 級(jí)超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄膜的在線或離線厚度解析。日本 Milas（ミラス株式會(huì)社）供應(yīng)的 A3611S 是一款專為半導(dǎo)體膜厚測(cè)定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry）設(shè)計(jì)的高穩(wěn)定性氙燈紫外點(diǎn)光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區(qū)保持高輻射強(qiáng)度，用于 nm 級(jí)超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄膜的在線或離線厚度解析。