溫度特性測試用晶圓加熱夾具裝置
溫度特性測試用晶圓加熱夾具裝置
溫度特性測試用晶圓加熱夾具裝置
主要用途
晶圓用溫度特性測試、探針搭載用熱夾具、玻璃夾具、基板電氣特性測試
數(shù)字溫度控制器
MSA工廠將通過標準溫度控制器和一鍵式連接器進行連接。高精度的溫度控制可以通過簡單的操作立即完成。C100_SG
查克圖案的通用圖案
標準吸附模式:將工件放置在中心的吸附孔上后，尺寸即可通用適用。例:如果是6"規(guī)格的卡盤，只要是6"、4"、3"和6"以下的尺寸，均可使用。
拉鏈面導電性/絕緣性/泄漏
卡盤面為鍍金規(guī)格(200°C)導電性規(guī)格和氧化鋁處理(200°C)絕緣性規(guī)格兩種模式。
主要用途
晶圓用溫度特性測試、探針搭載用熱夾具、玻璃夾具、基板電氣特性測試
數(shù)字溫度控制器
MSA工廠將通過標準溫度控制器和一鍵式連接器進行連接。高精度的溫度控制可以通過簡單的操作立即完成。C100_SG
查克圖案的通用圖案
標準吸附模式:將工件放置在中心的吸附孔上后，尺寸即可通用適用。例:如果是6"規(guī)格的卡盤，只要是6"、4"、3"和6"以下的尺寸，均可使用。
拉鏈面導電性/絕緣性/泄漏
卡盤面為鍍金規(guī)格(200°C)導電性規(guī)格和氧化鋁處理(200°C)絕緣性規(guī)格兩種模式。
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