半導體制造測量超微量濃度監(jiān)測水分計
半導體制造測量超微量濃度監(jiān)測水分計

1. 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設備體積小巧。
2. 高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分。
3. 快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時間小于1秒或小于30秒。
4. 彈性表面波（SAW）技術：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應，實現(xiàn)高靈敏度傳感。
5. 應用優(yōu)勢：適合各種測量應用，配備功能系列，實現(xiàn)傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜，實現(xiàn)的高速檢測。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制。
6. 實時監(jiān)測：響應速度極快，可實時監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。
7. 精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平。

1. 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設備體積小巧

   。
2. 高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分

   。
3. 快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時間小于1秒或小于30秒

   。
4. 彈性表面波（SAW）技術：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應，實現(xiàn)高靈敏度傳感

   。
5. 應用優(yōu)勢：適合各種測量應用，配備功能系列，實現(xiàn)傳感器單元的小型化

   。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出

   。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜，實現(xiàn)的高速檢測

   。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制

   。
6. 實時監(jiān)測：響應速度極快，可實時監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項

   。
7. 精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平

   。