工業(yè)用液晶基板表面檢查鹵素燈工業(yè)用液晶基板表面檢查鹵素燈

日本yamada山田光學 高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

　　基本信息高強度鹵素光源裝置

　　超精密平面檢測的理想選擇！通過驚人的照明，可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

　　“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測

　　最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板

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　　樣品表面的照度可超過 400,000 Lx。

　　另外，由于采用鹵素燈作為光源，色溫高，

　　光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

　　姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸。

　　[特點]

　　■ 光源采用鹵素燈

　　■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

　　■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

　　請用于超精密平面檢測！

　　高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

　　采用鹵素燈作為光源，色溫高，減少照明不均，照明***穩(wěn)定銳利。

　　此外，本機為“YP-150I"的姊妹機，有螺旋槳風機型和管道風機型可供選擇，可根據(jù)應用進行使用。

　　【特點】

　　■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面

　　■ 可選擇螺旋槳式和風道式

　　■ 使用冷鏡，熱影響是傳統(tǒng)的1/3

　　■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以

　　■ 8inch 兼容

　　[照明范圍]

　　■ YP-150I… 照度范圍 φ30

　　■ YP-250I… 照度范圍 φ60