產品資料
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規
產品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規
產品型號: GMi系列
產品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規該產品是一種換能器型多離子量規，可以將測針連接到不同的測量范圍。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規 的詳細介紹
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規
在將常規方法的多種原理組合到一個外殼中的復雜真空計中，“單個手寫筆需要*更換手寫筆”，“手寫筆很復雜且容易出現故障”和“手寫筆”我經常聽到客戶的反饋，例如“昂貴”。
這種方法可以進行寬帶測量，顯著降低運行成本，并支持低環境負荷。
GMi系列的特點
- 廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區域（10 5至5 x 10 -8 Pa）（當同時使用GPM和GAM時） - 可以連接不同測量范圍的放大鏡
通過采用多離子規，可以根據應用選擇測針 - 準確的大氣壓測量可以
輕松，準確地確認大氣壓（使用GAM時） - 支持低環境負荷由于
只能根據需要更換觸控筆，因此可以降低運行成本。
配備可檢查異常情況的LED，以提高可見度
易于更換可維護的手寫筆- 每種模式規格（組合模式）
GMi + GPM（離子計+吡喃計）
GMi + GPM + GAM（離子計+吡拉尼計+大氣壓傳感器） - 測量值輸出信號
壓力為0至10V輸出（對數輸出） - 控制輸出信號可以進行
3點設定值輸出（GMi-1） - 可以進行串行通訊規格
RS232C / RS485通訊（GMi-2） - 符合標準
CE標準對應
用
- 用于各種制造設備（例如太陽能電池，FPD，半導體和電子零件）的高真空區域中的過程控制
- 通過串聯型和單晶圓型等多個處理室，確認各種制造設備的高真空區域的極限壓力
- 高真空/超高真空設備的壓力測量
規范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規范 | 標準規格 | 串行通訊規格 | |
| 自適應多離子量規傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可連接的 | 傳感器多離子壓力表傳感器：1 皮拉尼壓力表GPM：1（可選） 大氣壓傳感器GAM：1（可選） | ||
| 采樣時間 | 70毫秒4倍移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0至10 V，對數輸出0.75 V / 1位 壓力轉換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P -2）P = 10 ^ {（V --7.25）/ 0.75 + 2} *用于設定點調整還用作（僅限GMi-1）的輸出電源 | ||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | FIL ON / OFF，FIL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集電極開路輸入，負邏輯運行 *根據模式的不同，FIL ON / OFF信號的用法也不同。 | --- | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設定點1/2/3 發射有效 燈絲功率監控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓1 V | --- | |
| 串行通訊規格 | --- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈（閃爍狀態根據每種模式而變化） FIL：發射有效的指示燈 | ||
| SET1：設定點1 LED SET2： 設定點2 LED SET3：設定點3 LED | --- | ||
| 發射電流 | 1 mA（1 x 10 -3 Pa或更小），10 µA | ||
| 德加斯 | 電子減震方法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具的承受壓力需要單獨考慮。 | ||
| 傳感器內部容積 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作溫度極限 | 10-50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，不結露） | ||
| 儲存溫度 | -20至65°C（不通電時不結露） | ||
| IP防護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC 20-28 V（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時為156 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | ||
| 大眾 | 控制器：約530 g，BA手寫筆（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合標準 | CE認證 | ||
| 選項 | 電源/錯誤：多離子計傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材質：長絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長絲2 W（鎢） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼規 | SPU | ||
| 皮拉尼儀表傳感器 | WP-16（NW16） 材質：細絲鉑，其他BS / Ni，電鍍，鎳，焊料 | ||
| 大氣壓傳感器 | GAM（NW16）材質：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米 | ||
| 顯示單位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每種模式規格
GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：多離子表單模，帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 獨立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式 |
|---|---|---|---|
| 測量壓力范圍 | 5×10 -8?1 ×10 1帕 | 5×10 -8?1 ×10 4帕 | 5×10 -8?1 ×10 5帕 |
| 測量精度 | 5×10 -8至1×10 1 Pa±15％ | 5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3?1.0×10 4帕：沒有精度保證 | 5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3 ?1.0×10 4帕：沒有精度保證 1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3 x 10 3 Pa，參考溫度25°C） |
| 重復精度 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
| 接線圖（示例） |  |  |  |
外形尺寸
單位：mm
*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規
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