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技術文章

NAS 技研 SC 系列:精準捕捉微量金屬污染,守護材料品質

在半導體制造、精細化工和材料科研的前沿領域,哪怕是晶圓或基材表面一絲一毫的微量金屬污染,都可能成為產品良率的 “隱形殺手"。人工采樣易帶入二次污染,傳統設備又難以適配親水面、粗糙表面等復雜工況 —— 而日本 NAS 技研推出的 SC 系列微量金屬污染物采樣設備,正是為破解這些痛點而生的專業解決方案。


作為有限會社 NAS 技研深耕行業多年的經典機型,SC 系列(涵蓋 SC-3100/8150/9100/9200)從設計之初就錨定 “精準、低污染、高適配" 三大核心目標。設備全程由電腦控制,可靈活切換圓環形、扇形、端面、弧形等 7 種采樣模式,無論是晶圓正面的均勻區域,還是邊緣、端面的特殊位置,都能實現精準覆蓋,不漏過任何一處潛在污染。


針對不同場景的需求,SC 系列提供了自動與手動兩種操作邏輯:SC-3100、SC-9100、SC-9200 主打全自動流程,從支架具裝卸到采樣液的供給與回收,全環節無需人工干預,減少人為操作帶來的污染,特別適合工業化批量采樣;SC-8150 則以手動操作為特色,結構更精簡,適合實驗室小批量、個性化的采樣實驗,讓研發人員能靈活調整參數,適配新材料的探索性測試。


更值得一提的是,SC 系列突破了傳統采樣設備的材質限制:除了常規的憎水面采樣,SC-8150、SC-9100、SC-9200 還支持親水面采樣,哪怕是硅以外的化合物半導體晶圓,或是因蝕刻導致表面粗糙的基材,也能穩定完成污染物采集,甚至可以對非重金屬離子進行采樣,覆蓋材料研發與生產的多元需求。

在易用性與穩定性上,這款設備同樣表現亮眼:它無需復雜的真空系統,僅需放置在無塵通風柜內,搭配 100~240VAC 寬電壓供電,就能快速投入使用;電腦端可實時記錄、存儲采樣數據,為后續的污染物分析、品質追溯提供完整依據;不同型號的機身尺寸緊湊,重量控制在 35-55kg 之間,無論是實驗室桌面還是潔凈車間,都能靈活部署,不會占用過多空間。


從汽車電子的芯片制造,到醫藥中間體的材料分析,再到新型功能材料的科研攻關,NAS 技研 SC 系列正成為越來越多企業與實驗室的 “采樣標配"。它以日本制造的精密工藝,為材料的品質管控筑牢防線,讓微量金屬污染無所遁形。


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